MSAP薬水を迅速にエッチングする

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1 . MS APが薬水の応用分野
本薬水は、半加成法MS APを応用した精細線形成技術によって開発された過酸化水素／硫酸システムの高速エッチング液です。主にMin L / S = 20 m / 20素子の形成に対しては、Min L / S = 20素子の形成に対応する。

2 . MAP薬水フラッシュ技術の利点
側は、理想の路線の形状を防ぐことができます。
ラインの側面がより広い線幅を侵すことを抑制することができる。
L / S = 20 / 20の微細なパターンに適用されます。
薬液は管理しやすい過酸化水素／硫酸系エッチング液。