MSAP闪蚀药水

1. MSAP闪蚀药水的应用领域

本药水是一种为应用半加成法MSAP的精细线路形成技术而开发的过氧化氢／硫酸体系的快速蚀刻液。主要应用与MSAP制程应对Min L/S=20um/20um 线路形成；

2. MSAP药水闪蚀技术优势

可以防止侧蚀得到理想的线路形状。

可以抑制线路侧面侵蚀得到更宽的线幅。
适用于L/S=20/20的微细图形。
药液是易于管理的过氧化氢／硫酸系蚀刻液